dz·Â¹ßÀü»ç¾÷ À̷аú ½ÇÁ¦
Á¤°¡ : 20,000 ¿ø
ÀÛ°¡¸í : Åä¾î À§Á©¸®¾î½º ÁöÀ½, °í°æ³² ¿Ü ¿Å±è
ÃâÆÇ»ç : CIR(¾¾¾ÆÀ̾Ë)
Ãâ°£ÀÏ : 2020-06-02
ISBN : 9791156108474 / K572630064
±¸¸Åó
Ã¥ ¼Ò°³
dz·Â¹ßÀü»ç¾÷ À̷аú ½ÇÁ¦
±¦Âú´Ù°í ¸»ÇÏÁö¸¸ ±¦ÂúÁö ¾ÊÀº ³Ê¿Í ³ª, ¿ì¸®°¡ ¾È°í »ç´Â ¿ì¿ï. ±×¸®°í ±× °¨Á¤ÀÌ °¡Á®¿Â ¸¶À½ÀÇ º´ ¿ì¿ïÁõ. ÈÁ¦ÀÇ Ã¤³Î
dz·Â¹ßÀü´ÜÁö¸¦ °³¹ßÇÏ´Â Àü¹®°¡ ¹× ÄÁ¼³ÅÏÆ®¿¡°Ô ÇÊ¿äÇÑ ¸Å´º¾ó
¿ì¸®³ª¶óµµ dz·Â¹ßÀü´ÜÁö°¡ À°»óÀ» ³Ñ¾î¼ ÇØ»ó¿¡µµ °Ç¼³µÇ¾î ¿îÀü ÁßÀÌ´Ù. ÀÌÁ¦ Àç»ý¿¡³ÊÁö¿ø Áß ÇϳªÀΠdz·ÂÀº °ú°Å¿Í °°ÀÌ ÇØµµ µÇ°í ¾È ÇØµµ µÇ´Â ¼±ÅûçÇ×ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¡®Çؾ߸¸ Çϴ¡¯ Çʼö»çÇ×ÀÌ µÇ¾ú´Ù. ½ÇÁ¦·Î dz·Â´ÜÁö¸¦ °Ç¼³Çϱâ À§ÇÏ¿© »ç¾÷¿¹Á¤ÀÚ´Â ¾î¶»°Ô »ç¾÷Àü¹ÝÀ» °èȹÇÒ °ÍÀÎÁö, °³¹ßÀÚ´Â ¹«¾ùÀ» ÇØ¾ß Çϰí, Áö¿ª ÁֹεéÀº ¾î¶»°Ô ´ëÀÀÇØ¾ß Çϰí, ÀÎÇã°¡ ±â°üÀÎ ÁöÀÚü¿¡¼´Â ¶ÇÇÑ ¾î¶»°Ô ½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö º¸±Þ Á¤Ã¥°ú ¸ÂÃ߸ç ÀÏÀ» ÇØ³ª°¡¾ß ÇÒ °ÍÀÎÁö ³°¨ÇÒ ¶§°¡ ¸¹Àº °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¿©±â¿¡ ȯ°æ¿µÇâÆò°¡ ¹× ȯ°æ´ÜüÀÇ ¿ä±¸»çÇ×±îÁö °í·ÁÇϸé dz·Â ÇÁ·ÎÁ§Æ®´Â Ç®±â¿¡ ³Ê¹«³ª ¾î·Á¿î °íÂ÷¹æÁ¤½Ä °°ÀÌ »ý°¢µÇ´Â °Ô Àû¾îµµ °¢ ºÐ¾ß ÃʽÉÀÚÀÇ ½ÉÁ¤À̶ó »ý°¢µÈ´Ù.
±×µ¿¾È ±¹³»¿¡µµ dz·Â °ü·Ã ¼ÀûÀÌ ¸¹ÀÌ ÃâÆÇµÇ¾ú°í, À̴ dz·Â °ü·Ã Áö½Ä È®»ê ¹× ÇÕ¸®ÀûÀÎ Á¤Ã¥ °áÁ¤ µî¿¡ ¸¹Àº ±â¿©¸¦ Çß´Ù°í È®½ÅÇÑ´Ù. ±×·¯³ª dz·Â Àü¹®°¡°¡ ¾Æ´Ñ ÀϹÝÀÎÀÌ º¸±â¿¡ dz·Â °ü·Ã Áö½ÄÀ» ½±°Ô ¼³¸íÇÑ ¼ÀûÀ» ã±â°¡ ½±Áö ¾Ê´Ù°í ÇÑ´Ù. ±×·¯´Ù º¸´Ï dz·Â´ÜÁö °³¹ß¿¡ ´ëÇÑ Àüü ±×¸²À» ÆÄ¾ÇÇÏÁö ¸øÇÑ Ã¤ ¾î´À ÇÑ ´Ü¸é¸¸ º¸°í °¢ÀÚ À§Ä¡¿¡¼ ¸ÃÀº ÀÏÀ» ó¸®ÇÏ°Ô µÇ°í, ÀÌ·¯ÇÑ ¾ð¹ë·±½º´Â °á±¹ dz·Â»ç¾÷ÀÌ ÁÂÃʵǰí, Áö¿ª»çȸÀÇ °¥µîÀ» À¯¹ßÇÏ´Â ¿øÀÎÀÌ µÇ±âµµ ÇÑ´Ù. À̸¦ ¹æÁöÇϱâ À§Çؼ´Â °¢ÀÚ ÀÚ½ÅÀÌ ÇÏ´Â ÀÏÀÌ ¾î¶»°Ô ´Ù¸¥ ÀÏ¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖ´ÂÁö ¾Ë°í dz·Â °ü·Ã ¾÷¹«¸¦ ó¸®ÇØ¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¶§¿¡ ¿ªÀÚµéÀº ÀϹÝÀε鵵 ÀÐ°í ½±°Ô ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖ´Â º» ¼ÀûÀ» ã¾Æ¼ ¹ø¿ªÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù. ³»¿ëÀÌ ÁÖ·Î À¯·´ ±¹°¡µéÀ» ±âÁØÀ¸·Î ¼¼úµÇ¾î ÀÖ¾î¼ ¿ì¸®³ª¶ó¿¡ Àû¿ëÇÒ ¶§ À¯ÀÇÇØ¾ß ÇÏÁö¸¸ ´ëºÎºÐ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇϸ®¶ó ÆÇ´ÜµÈ´Ù.
ÀÌ ¼ÀûÀÌ ¿ì¸®³ª¶óÀÇ Ç³·Â»ê¾÷À» ¹ßÀü½Ã۰í, dz·Â»ç¾÷À¸·Î ÀÎÇÑ »çȸ°¥µî ¿ä¼Ò¸¦ °æ°¨½ÃÅ´°ú µ¿½Ã¿¡ dz·Â±â¼ú °±¹À¸·Î °¡´Â ¹Ø°Å¸§ÀÌ µÇ¾úÀ¸¸é ÇÑ´Ù.
ÀúÀÚ ¼Ò°³
Åä¾î À§Á©¸®¾î½º (ÁöÀºÀÌ)
Åä¾î À§Á©¸®¾î½º´Â dz·Â¿¡ °üÇÑ Ã¥À» 8±Ç ÁýÇÊÇÏ¿´´Ù. 1998³âºÎÅÍ 2008³â±îÁö ½º¿þµ§ °íƲ·£µå ´ëÇб³(Gotland University)¿¡¼ dz·Â¿¡ °üÇÑ ±³¼ö¸¦ ¿ªÀÓÇÏ¿´´Ù. ÇöÀç ½º¿þµ§¿¡¼ dz·Â°³¹ßÀÚ·Î ÀÏÇϰí ÀÖ´Ù.
°í°æ³² (¿Å±äÀÌ)
2002 (ÀϺ»)±º¸¶(ÏØØ©)´ëÇб³ °øÇйڻç
ÇöÀç Á¦ÁÖ´ëÇб³ ´ëÇпø dz·Â°øÇкΠºÎ±³¼ö
ÇãÁ¾Ã¶ (¿Å±äÀÌ)
1992 ÀÎÇÏ´ëÇб³ °øÇйڻç
ÇöÀç Á¦ÁÖ´ëÇб³ ±â°è°øÇаú ±³¼ö
±è¹ü¼® (¿Å±äÀÌ)
2005 Çѱ¹Çؾç´ëÇб³ °øÇйڻç
ÇöÀç Á¦ÁÖ´ëÇб³ ´ëÇпø dz·Â°øÇкΠºÎ±³¼ö
¾ç°æºÎ (¿Å±äÀÌ)
2016 Á¦ÁÖ´ëÇб³ °øÇйڻç
ÇöÀç Á¦ÁÖ´ëÇб³ ´ëÇпø dz·Â°øÇкΠÇмú¿¬±¸±³¼ö
ÀÛ°¡ÀÇ ´Ù¸¥Ã¥
ÃâÆÇ»çÀÇ ´Ù¸¥Ã¥
°Ç¼³°ø»ç °ø±âÁö¿¬ Ŭ·¹ÀÓ°ú ºÐÀï - ÀÔÁõ¹æ¹ý°ú Æò°¡¹æ¹ýÀ» Áß½ÉÀ¸·Î
42,000 ¿ø
¾¾¾ÆÀ̾Ë
¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤±â¼ú Wafer Cleaning Technology
52,000 ¿ø
CIR(¾¾¾ÆÀ̾Ë)



