웨이퍼 세정기술 Wafer Cleaning Technology
정가 : 52,000 원
작가명 : 카렌 A. 라인하르트.베르너 컨 지음, 장인배 옮김
출판사 : CIR(씨아이알)
출간일 : 2020-05-19
ISBN : 9791156108412 / K112639534
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책 소개
웨이퍼 세정기술 Wafer Cleaning Technology
괜찮다고 말하지만 괜찮지 않은 너와 나, 우리가 안고 사는 우울. 그리고 그 감정이 가져온 마음의 병 우울증. 화제의 채널
웨이퍼 세정의 바이블!
웨이퍼 세정기술 제3판에서는 반도체 분야에서 활용되는 세정, 에칭 및 표면처리 기술에 대해서 심도 깊은 논의를 수행하였다. 표면과 콜로이드를 포함하는 습식처리 및 플라스마 처리와 관련된 기초물리학과 기초화학에 대한 내용도 포함되어 있다. 이 개정판에서는 발전을 거듭하고 있는 반도체 업계에서 최근 10년간 이루어진 새로운 기술과 소재들에 대해서도 다루고 있다.
이 책에서는 다양한 기술들과 결과에 대한 예시를 통해서 세정과 표면처리에 사용되는 공정들이 선정된 이유를 이해할수 있다. 독자들은 또한 오염을 평가하는 분석방법들에 대해서도 이해할 수 있다. 이 책은 세정의 이론과 기법에 대한 이해를 필요로 하는 관리자, 엔지니어 및 기술자들에게 소중한 지침서이다. 이 책에서는 입자, 유기물 그리고 금속오염 제거, 표면 부동화, 표면분석, 식각 그리고 감광제 박리와 같은 주제들을 다루고 있다.
이 책의 특징은 다음과 같다.
"집적회로 제조에 사용되는 습식, 플라스마 및 여타의 표면처리기법을 포함한 세정기술에 초점을 맞추었다.
"집적회로 제조에 사용되는 표면세정과 관련된 믿을 만한 레퍼런스들을 제공하고 있다.
"식각, 세정 및 표면처리에서 필요로 하는 젾平
저자 소개
베르너 컨 (지은이)
미국 뉴저지 레이크우드 베르너 컨 & 어소시에이트
카렌 A. 라인하르트 (지은이)
미국 캘리포니아 산호세 카메오 컨설팅
장인배 (옮긴이)
<학력 및 경력>
1983.03-1987.02 서울대학교 공과대학 기계설계학과(학사)
1987.03-1989.02 서울대학교 대학원 기계설계학과(석사)
1989.03-1994.08 서울대학교 대학원 기계설계학과(박사)
1995.04-2021.현재 강원대학교 메카트로닉스공학 전공 교수
2005.01-2005.12 버지니아 주립대학교 기계공학과 교환교수
2006.03-2008.02 강원대학교 공과대학 부학장
2006.09-2008.08 여학생 공학교육 선도대학 사업단 단장
2011.09-2013.08 강원대학교 산학협력단 부단장
1999.03-2007.05 (주)바이오트론(기술자문)
2007.06-2011.07 한일과학산업(주)(기술자문)
2002.06-2016.09 한국유체(주)(기술자문)
2007.10-2021.현재 삼성전자 생산기술연구소(기술자문)
2011.03-2021.현재 삼성전자 생산기술연구소 FE-Pro 과정(1기∼11기)(교육 및 과제자문)
2011.07-2016.09 (주)비티(기술자문)
2014.04-2020.5 세메스(기술자문)
2017.10-2021.현재 AP시스템(AP 홀딩스, 코닉오토메이션)(기술자문)
2019.08-2021.현재 삼성전기(기술자문)
2016.08-2017.2 LINC 사업단(부단장)
2017.03-2020.6 LINC＋ 사업단(단장, 교무위원)
<저서 및 역서>
2021 CMP 웨이퍼연마CMP, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2020 웨이퍼 세정기술, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2020 극자외선노광(2판), 출판되지 않음(번역서, 단독)
2019 정밀공학, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2019 웨이퍼레벨 패키징, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2018 유기발광다이오드 디스플레이와 조명, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2018 3차원 반도체, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2018 유연 메커니즘: 플랙셔힌지의 설계, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2017 극자외선노광(1판), 출판되지 않음(번역서, 단독)
2017 광학기구설계, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2016 정밀메커니즘의 설계원리, 출판되지 않음(번역서, 단독)
2016 포토마스크기술, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2016 정확한 구속: 기구학적 원리를 이용한 기계설계, 도서출판 씨아이알(번역서, 단독)
2015 고성능 메카트로닉스의 설계, 동명사(번역서, 단독)
2011 전기전자회로실험, 동명사(저서, 단독)
2010 표준기계설계학, 동명사(저서, 3인 공저)
2005 정밀기계설계, 출판되지 않음(번역서, 단독)
