µ¿¾Æ½Ã¾Æ ºÒ±³»ç
Á¤°¡ : 20,000 ¿ø
ÀÛ°¡¸í : À̽ÃÀÌ ÄÚ¼¼ÀÌ ÁöÀ½, ÃÖ¿¬½Ä ¿Å±è
ÃâÆÇ»ç : CIR(¾¾¾ÆÀ̾Ë)
Ãâ°£ÀÏ : 2020-02-10
ISBN : 9791156108269 / K002637719
±¸¸Åó
Ã¥ ¼Ò°³
µ¿¾Æ½Ã¾Æ ºÒ±³»ç
±¦Âú´Ù°í ¸»ÇÏÁö¸¸ ±¦ÂúÁö ¾ÊÀº ³Ê¿Í ³ª, ¿ì¸®°¡ ¾È°í »ç´Â ¿ì¿ï. ±×¸®°í ±× °¨Á¤ÀÌ °¡Á®¿Â ¸¶À½ÀÇ º´ ¿ì¿ïÁõ. ÈÁ¦ÀÇ Ã¤³Î
µ¿¾Æ½Ã¾Æ ºÒ±³»ç¸¦ »óÈ£¿¬°üÁö¾î ÅëÇÕÀûÀ¸·Î ¼¼úÇÑ ÃÖÃÊÀÇ °³¼³¼!
Àεµ¿¡¼ ¹ß¿øÇÑ ¼®°¡¸ð´ÏÀÇ °¡¸£Ä§Àº ¼¿ªÀ» ÅëÇØ Áß±¹ ¶¥¿¡ ÀüÇØÁø ÀÌÈÄ·Î, ¶§·Î´Â Ãæµ¹Çϰí, ¶§·Î´Â À¶ÇÕÇÏ¸ç °íÀ¯¼º°ú µ¶ÀÚ¼ºÀ» °®Ã߸ç Àü°³µÇ¾ú´Ù. µ¿½Ã¿¡ ±× °¡¸£Ä§Àº »ç¹æÀ¸·Î ÆÛÁ®³ª°¡ ¹Ù´Ù¸¦ °Ç³Ê Çѱ¹°ú ÀϺ»À¸·Î, ¶Ç ³²ÂÊÀ» ÇâÇØ º£Æ®³²±îÁö Èê·¯µé¾î°¬°í, °¢°¢ÀÇ °³¼º´ë·Î ´Ù½Ã Å©°í ÀÛÀº È帧À» À̾´Ù. À̰ÍÀº ´Ù½Ã ¼·Î °£ÀÇ ±ä¹ÐÇÑ ¼ÒÅëÀ» ÅëÇØ µ¿¾Æ½Ã¾Æ Àüü¸¦ Á¾È¾ÇÏ´Â Ä¿´Ù¶õ Áö·ù¸¦ ÀÌ·ç°Ô µÈ´Ù.
µ¿¾Æ½Ã¾ÆÀÇ ºÒ±³»ç¸¦ ±ÕÇü ÀÖ°Ô ÅëÂûÇÑ ÀÌ Ã¥¿¡¼´Â ÀÌ¿Í °°Àº µ¿¾Æ½Ã¾Æ ºÒ±³ÀÇ ±í°í °Å´ëÇÑ È帧ÀÌ ³Ê¹« ³ÇØÇÏÁöµµ, ±×·³¿¡µµ °áÄÚ °¡º±Áöµµ ¾Ê°Ô ¼Ò°³µÇ¾ú´Ù. ÀúÀÚÀÇ Ç³ºÎÇÑ ½Ä°ßÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î °í´ëºÎÅÍ ±Ù¼¼±îÁö Àü°³µÇ´Â µ¿¾Æ½Ã¾Æ ºÒ±³ÀÇ È帧À» µû¶ó°¡´Ù º¸¸é, ½Ã´ë¿¡ µû¶ó º¯ÈÇÏ´Â ºÒ±³ÀÇ »õ·Î¿î °¡¸£Ä§À» ¸¶ÁÖÇÒ »Ó ¾Æ´Ï¶ó, °¢ ½Ã´ë¿Í ±¹°¡ÀÇ ´Ù¾çÇÑ »ç»ó°ú ¹®È, ±×¸®°í Àι°À» ¾Æ¿ì¸£´Â dzºÎÇÏ°í »ý»ýÇÑ À̾߱âµéÀ» ÇÔ²² ¸¸³ª°Ô µÈ´Ù. À̰ÍÀº ºÒ±³¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇØ°¡ °ð µ¿¾Æ½Ã¾ÆÀÇ ¿ª»ç¿Í ¹®ÈÀÇ ÁÖ¿äÇÑ ¹ÙÅÁÀÓÀ» È®ÀÎÇØÁÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÀúÀÚ ¼Ò°³
À̽ÃÀÌ ÄÚ¼¼ÀÌ (ÁöÀºÀÌ)
1950³â µµÄì¿¡¼ ž´Ù. 1976³â, ¿Í¼¼´Ù(ðÄÔ«ï£)´ëÇÐ ¹®ÇкΠ¹× µ¿(ÔÒ) ´ëÇпø¿¡¼ µ¿¾çöÇÐÀ» Àü°øÇß´Ù. 1988³â, ¿Í¼¼´Ù´ëÇÐ °»ç, 1994³â ¡¸È¾ö±³ÇÐÀÇ ¿¬±¸¡¹·Î ¹Ú»ç(¹®ÇÐ) ÇÐÀ§¸¦ ¹Þ¾Ò°í, 1996³âºÎÅÍ ÇöÀç±îÁö °í¸¶ÀÚ¿Í ´ëÇб³(ÏË÷ÊÓÞùÊÎè) ºÒ±³ÇкΠ±³¼ö·Î ÀÖ´Ù.
Àü°øÀº ȾöÁ¾¡¤Áö·ÐÁ¾(ò¢Öåðó)¡¤¼±Á¾¡¤¼º´öÅÂÀÚ µîÀ» ÁÖÃàÀ¸·Î ÇÏ¿© Àεµ¡¤Áß±¹¡¤Çѱ¹¡¤ÀϺ»¡¤º£Æ®³²¿¡¼ÀÇ ºÒ±³ ±³Çп¡ ´ëÇØ ¿¬±¸Çϰí ÀÖ´Ù. ±×´Â ¼ø¼ö ºÒ±³Çп¡ ¸Ó¹«¸£Áö ¾Ê°í, ºÒ±³¿Í ¹®ÇаúÀÇ °ü°è, ±×¸®°í ÃÖ±Ù¿¡´Â ±Ù´ë ¾Æ½Ã¾Æ Á¦±¹(ð³ÏÐ)¿¡¼ÀÇ ºÒ±³¿Í ³»¼Å³Î¸®ÁòÀÇ °ü°è µî¿¡ ´ëÇØ¼µµ ¿¬±¸Çϰí ÀÖ´Ù. ÀϺ» ºÒ±³ÇÐ°è ³»¿¡¼µµ ÇØ¹ÚÇÑ Áö½Ä°ú Ź¿ùÇÑ ¹ß»óÀ» ±âÃÊ·Î, ±âÁ¸ÀÇ »ç»ó»çÀûÀΠƲÀ» ±ú°í »õ·Î¿î ½ÃÁ¡À» Á¦°øÇÏ´Â ÇÐÀڷμ ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù. ºÒ±³»ç ¿¬±¸¿¡¼ Àεµ, Áß±¹, ÀϺ»À¸·Î À̾îÁö´Â µµ½ÄÈµÈ ÀϺ»½Ä »ï±¹»ç¸¦ ºÎÁ¤Çϰí ÀÌ Ã¥¿¡¼µµ º¼ ¼ö ÀÖ´Â °Íó·³ Çѱ¹ ȾöÀÇ Á¸À縦 °Á¶Çϰí ÀÖ´Ù.
*Àú¼ : ¡ºÔÔ«¢«¸«¢ÝÖÎçÞÈ¡»(äÛ÷îãæßö, 2019), ¡º<ªâªÎªÞªÍ>ªÎÕöÞÈ¡ªÝÖÎ硤áŪ¤¡¤çÝÒö¡»(ÑÎô¹ûðÙþν, 2017), ¡ºá¡Óì÷¼í¡ªãùßÀªÈîîàãªÎÊà¡»(õðõÕÞä, 2016), ¡ºü¤åñÞÖßÌªÎæÚϼ¡»(õðõÕÞä, 1996) µî ´Ù¼ö
ÃÖ¿¬½Ä (¿Å±äÀÌ)
1966³â ÀüÁÖ Ãâ½Å. ¼¿ï´ëÇб³ ±¹»çÇаú¸¦ Á¹¾÷ÇÏ°í °°Àº Çб³ ´ëÇпø¿¡¼ ±Õ¿©Ð³åýÀÇ È¾ö»ç»óÀ» ÁÖÁ¦·Î ¹Ú»çÇÐÀ§¸¦ ÃëµæÇÏ¿´´Ù. ÀÌÈÄ ÀϺ»ÇмúÁøÈïȸ ¿Ü±¹ÀÎÆ¯º°¿¬±¸¿ø(Post-doc.)À» ¸¶Ä¡°í, ±Ý°´ëÇб³ ºÒ±³¹®È¿¬±¸¼Ò ÀüÀÓ¿¬±¸¿ø, ¸ñÆ÷´ëÇб³ ¹× Çѱ¹ÇÐÁß¾Ó¿¬±¸¿ø ±³¼ö¸¦ °ÅÃÄ ÇöÀç µ¿±¹´ëÇб³ »çÇаú ±³¼ö·Î ÀçÁ÷Çϰí ÀÖ´Ù. Çѱ¹À» Áß½ÉÀ¸·Î ÇÑ °í´ë ¹× Áß¼¼ µ¿¾Æ½Ã¾Æ ºÒ±³»ç»óÀ» ¿¬±¸Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, ºÒ±³°ü·Ã °í¹®Çå°ú ±Ý¼®¹®, °í¹®¼ µîÀÇ ÀÚ·á¿¡ ´ëÇØ¼µµ °ü½ÉÀ» °¡Áö°í °ËÅäÇϰí ÀÖ´Ù.
Àú¼ ¹× ¹ø¿ª¼·Î ¡ºÎèÊë ÓÞã«ÞÌÒÕúÜëùÑÀ¡», ¡º¿ªÁÖ ÀϽ¹ý°èµµ¿øÅë±â¡», ¡ººÒ±³ÀÇ Áß±¹Á¤º¹¡», ¡º»õ·Ó°Ô ´Ù½Ã ¾²´Â Áß±¹àÉÀÇ ¿ª»ç¡», ¡º´ë½ÂºÒ±³¿Í µ¿¾Æ½Ã¾Æ¡» µîÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀÛ°¡ÀÇ ´Ù¸¥Ã¥
ÃâÆÇ»çÀÇ ´Ù¸¥Ã¥
°Ç¼³°ø»ç °ø±âÁö¿¬ Ŭ·¹ÀÓ°ú ºÐÀï - ÀÔÁõ¹æ¹ý°ú Æò°¡¹æ¹ýÀ» Áß½ÉÀ¸·Î
42,000 ¿ø
¾¾¾ÆÀ̾Ë
¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤±â¼ú Wafer Cleaning Technology
52,000 ¿ø
CIR(¾¾¾ÆÀ̾Ë)



