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Á¤°¡ : 48,000 ¿ø
ÀÛ°¡¸í : Richard Leach.Stuart T. Smith ÁöÀ½, ÀåÀÎ¹è ¿Å±è
ÃâÆÇ»ç : CIR(¾¾¾ÆÀ̾Ë)
Ãâ°£ÀÏ : 2019-06-23
ISBN : 9791156107583 / K202635122
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ÀÌ ±³Àç¿¡¼´Â ±¤ÇÐÀ̳ª °èÃø ¹× Á¦¾î µîÀÇ ¸ÞīƮ·Î´Ð½ºÀûÀÎ ¼³°è¿ä¼ÒµéÀ» Æ÷ÇÔÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°øÁ¤¿¡ µµÀÔÀÌ È°¹ßÇÏ°Ô ÃßÁøµÇ°í ÀÖ´Â ±ØÀڿܼ±³ë±¤±â(EUVL)¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ¿© ÃÖ½ÅÀÇ ÃÊÁ¤¹Ð±â¼úµéÀ» »ç·Ê·Î Ȱ¿ëÇϰí Àֱ⠶§¹®¿¡, Á¤¹Ð°øÇÐÀ» °øºÎÇÏ´Â Çлýµé°ú ÃÊÁ¤¹Ð »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡ Á¾»çÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾îµé¿¡°Ô ÈǸ¢ÇÑ Áöħ¼°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù.
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Stuart T. Smith (ÁöÀºÀÌ)
Çö ³ë½ºÄ³·Ñ¶óÀ̳ª ´ëÇб³ ¼£·µ Ä·ÆÛ½ºÀÇ ±â°è°øÇаú ±³¼öÀÌ¸ç °èÃø±â °³¹ß±×·ìÀÇ ¸®´õ
Richard Leach (ÁöÀºÀÌ)
1990~2014³â ¿µ±¹ ±¹¸³¹°¸®Çבּ¸¼Ò¿¡¼ ±Ù¹«
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ÀåÀιè (¿Å±äÀÌ)
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1983.03-1987.02 ¼¿ï´ëÇб³ °ø°ú´ëÇÐ ±â°è¼³°èÇаú(Çлç)
1987.03-1989.02 ¼¿ï´ëÇб³ ´ëÇпø ±â°è¼³°èÇаú(¼®»ç)
1989.03-1994.08 ¼¿ï´ëÇб³ ´ëÇпø ±â°è¼³°èÇаú(¹Ú»ç)
1995.04-2021.ÇöÀç °¿ø´ëÇб³ ¸ÞīƮ·Î´Ð½º°øÇÐ Àü°ø ±³¼ö
2005.01-2005.12 ¹öÁö´Ï¾Æ ÁÖ¸³´ëÇб³ ±â°è°øÇаú ±³È¯±³¼ö
2006.03-2008.02 °¿ø´ëÇб³ °ø°ú´ëÇÐ ºÎÇÐÀå
2006.09-2008.08 ¿©Çлý °øÇб³À° ¼±µµ´ëÇÐ »ç¾÷´Ü ´ÜÀå
2011.09-2013.08 °¿ø´ëÇб³ »êÇÐÇù·Â´Ü ºÎ´ÜÀå
1999.03-2007.05 (ÁÖ)¹ÙÀÌ¿ÀÆ®·Ð(±â¼úÀÚ¹®)
2007.06-2011.07 ÇÑÀϰúÇлê¾÷(ÁÖ)(±â¼úÀÚ¹®)
2002.06-2016.09 Çѱ¹À¯Ã¼(ÁÖ)(±â¼úÀÚ¹®)
2007.10-2021.ÇöÀç »ï¼ºÀüÀÚ »ý»ê±â¼ú¿¬±¸¼Ò(±â¼úÀÚ¹®)
2011.03-2021.ÇöÀç »ï¼ºÀüÀÚ »ý»ê±â¼ú¿¬±¸¼Ò FE-Pro °úÁ¤(1±â¡11±â)(±³À° ¹× °úÁ¦ÀÚ¹®)
2011.07-2016.09 (ÁÖ)ºñƼ(±â¼úÀÚ¹®)
2014.04-2020.5 ¼¼¸Þ½º(±â¼úÀÚ¹®)
2017.10-2021.ÇöÀç AP½Ã½ºÅÛ(AP Ȧµù½º, ÄڴпÀÅä¸ÞÀ̼Ç)(±â¼úÀÚ¹®)
2019.08-2021.ÇöÀç »ï¼ºÀü±â(±â¼úÀÚ¹®)
2016.08-2017.2 LINC »ç¾÷´Ü(ºÎ´ÜÀå)
2017.03-2020.6 LINC£« »ç¾÷´Ü(´ÜÀå, ±³¹«À§¿ø)
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2021 CMP ¿þÀÌÆÛ¿¬¸¶CMP, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2020 ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤±â¼ú, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2020 ±ØÀڿܼ±³ë±¤(2ÆÇ), ÃâÆÇµÇÁö ¾ÊÀ½(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2019 Á¤¹Ð°øÇÐ, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2019 ¿þÀÌÆÛ·¹º§ ÆÐŰ¡, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2018 À¯±â¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í Á¶¸í, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2018 3Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2018 À¯¿¬ ¸ÞÄ¿´ÏÁò: Ç÷¢¼ÅÈùÁöÀÇ ¼³°è, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2017 ±ØÀڿܼ±³ë±¤(1ÆÇ), ÃâÆÇµÇÁö ¾ÊÀ½(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2017 ±¤Çбⱸ¼³°è, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2016 Á¤¹Ð¸ÞÄ¿´ÏÁòÀÇ ¼³°è¿ø¸®, ÃâÆÇµÇÁö ¾ÊÀ½(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2016 Æ÷Å丶½ºÅ©±â¼ú, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2016 Á¤È®ÇÑ ±¸¼Ó: ±â±¸ÇÐÀû ¿ø¸®¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ±â°è¼³°è, µµ¼ÃâÆÇ ¾¾¾ÆÀ̾Ë(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2015 °í¼º´É ¸ÞīƮ·Î´Ð½ºÀÇ ¼³°è, µ¿¸í»ç(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
2011 Àü±âÀüÀÚȸ·Î½ÇÇè, µ¿¸í»ç(Àú¼, ´Üµ¶)
2010 Ç¥Áرâ°è¼³°èÇÐ, µ¿¸í»ç(Àú¼, 3ÀÎ °øÀú)
2005 Á¤¹Ð±â°è¼³°è, ÃâÆÇµÇÁö ¾ÊÀ½(¹ø¿ª¼, ´Üµ¶)
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ÃâÆÇ»çÀÇ ´Ù¸¥Ã¥
°Ç¼³°ø»ç °ø±âÁö¿¬ Ŭ·¹ÀÓ°ú ºÐÀï - ÀÔÁõ¹æ¹ý°ú Æò°¡¹æ¹ýÀ» Áß½ÉÀ¸·Î
42,000 ¿ø
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¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤±â¼ú Wafer Cleaning Technology
52,000 ¿ø
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