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Á¤°¡ : 20,000 ¿ø
ÀÛ°¡¸í : ¹Ú°ÇÁÖ ÁöÀ½
ÃâÆÇ»ç : CIR(¾¾¾ÆÀ̾Ë)
Ãâ°£ÀÏ : 2009-01-31
ISBN : 9788992259217 / 8992259212
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ÇÏÅýÅȸ´Â 6Á¶ Çý´ÉÀÇ ¼öÁ¦ÀÚ °¡¿îµ¥ ÇÑ ¸íÀÌ´Ù. ¡®ÇÏÅýÅȸ¡¯¶ó´Â À̸§ÀÌ ÀϹÝÀο¡°Ô´Â ´Ù¼Ò »ý¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖ°ÚÁö¸¸ ºÒ±³¿¡ °ü½ÉÀÌ Àְųª ºÒ±³¿¡ Á¾»çÇÏ´Â »ç¶÷µé¿¡°Ô´Â Àͼ÷ÇÑ À̸§À¸·Î, ¼±Á¾»ç¿Í Áß±¹ºÒ±³»ç¿¡ ÀÖ¾î ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ Àι°ÀÌ´Ù. Áß±¹ÀÇ Ã¶ÇÐÀÚ È£ÀûÀº ±×¸¦ °¡¸®ÄÑ ¡°Áß±¹ºÒ±³»ç»ó ÀÌ·¸°Ô À§´ëÇÑ °øÈÆÀ» ÀÌ·ç°í, ¿µ±¸ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ³¢Ä£ »ç¶÷Àº ¾î´À ´©±¸µµ ¾ø´Ù¡±°í ÇÏ¿´´Ù.
±×´Â ¾î·Á¼ºÎÅÍ À¯°¡¿Í µµ°¡ÀÇ Ã¥À» ¼··ÆÇÏ´Ù°¡ ¡ºÈÄÇѼ¡»ÀÇ ºÒ±³°ü·Ã ±â»ç¸¦ ÀÐ°í ºÒ±³¿¡ ±ÍÀÇÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù. ÀÌÈÄ ¾ç¾ç ±¹Ã¢»çÀÇ È£¿ø¹ý»ç ¹®ÇÏ¿¡¼ Ãâ°¡ÇÏ¿´À¸¸ç, ½Å¼öÀÇ ¹®ÇÏ¿¡¼ 3³â°£ ¼öÇÐÇÏ¿´´Ù. ±×·¯´ø Áß ½Å¼ö°¡ ±¹»ç°¡ µÇ¾î ³«¾çÀ¸·Î ¶°³ª°Ô µÇÀÚ Çý´ÉÀÇ ¹®ÇÏ·Î µé¾î°¡°Ô µÇ¾ú´Ù. ±×´Â ³²¾ç°ú ³«¾ç¿¡¼ ¸¹Àº ½Â·Áµé°ú Á¶Á¤ÀÇ °ü·á ¹× »ç´ëºÎµé¿¡°Ô ³²Á¾ÀÇ µ·¹ýÀ» ¼±ÀüÇÏ¿´´Ù. ƯÈ÷ Ȱ´ë ´ë¿î»ç¿¡¼ ºÏÁ¾ÀÇ ½Â·Á¿Í µ·¹ý°ú Á¡¹ýÀ» ³íÇÏ¿© ´Þ¸¶ ÀÌ·¡ÀÇ µ·¹ýÁ¾ÁöÀÇ °è½ÂÁ¤Å뼺ÀÌ ½Å¼ö°¡ ¾Æ´Ñ Çý´É¿¡ ÀÖÀ½À» õ¸íÇÔÀ¸·Î½á ³²Á¾ÀÇ ±âÄ¡¸¦ ¼¼¿ü´Ù. ÀÌ·¸µí ¼±Á¾ÀÌ Áß±¹ÀÇ ¿©·¯ Á¾ÆÄ¸¦ ¾ÐµµÇÏ°í ³²Á¾ÃµÇÏ·Î Èê·¯°¥ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¿ª»çÀÇ ¹ßÆÇÀ» ¸¶·ÃÇÑ Àι°ÀÌ ¹Ù·Î ÇÏÅýÅȸÀÌ´Ù.
±×·¯³ª 1930³â È£ÀûÀÌ ¡º½ÅȸȻóÀ¯Áý¡»À» ¹ßÇ¥Çϱâ ÀÌÀü±îÁö ±×´Â Á¾¹®¿¡¼ Á¤´çÇÑ Æò°¡¸¦ ¹ÞÁö ¸øÇß´Ù. ±× ÀÌÀ¯ Áß Çϳª´Â ±×ÀÇ Àú¼úÀÌ ´ëºÎºÐ ½ÇÀüµÇ¾î ÈÄ´ë¿¡ Á¦´ë·Î ÀüÇØÁöÁö ¾Ê¾Ò±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ±×·¯´ø Áß È£ÀûÀÌ 1¼¼±â Àü µ·È²¹®Çå¿¡¼ ÇÏÅýÅȸÀÇ ¾î·Ï°ú ¹ý¹®ÁýÀ» ¹ß°ßÇϰí À̸¦ ¼Ò°³ÇÏ¸é¼ ±×¿¡ ´ëÇÑ °ü½É°ú Á߿伺ÀÌ ºÎ°¢µÇ±â ½ÃÀÛÇß´Ù.
ÀÌ Ã¥Àº ÃÖ±Ù¿¡ Áß±¹ÀÇ ¾çÁõ¹®ÀÌ ±³°¨ ÆíÁýÇÑ ¡º½ÅȸȻó¼±È·Ï¡»À» ¿øº»À¸·Î »ï¾Æ ÇÏÅýÅȸÀÇ ¹ý¹®À» ¿ªÁÖÇÏ¿´´Ù. ¾ÆÁ÷±îÁö ±¹³»¿¡¼´Â À̵é ÀÚ·á¿¡ ´ëÇÑ ¿ªÁÖ°¡ ÀÌ·ç¾îÁöÁö ¸øÇØ ÀÌ Ã¥ÀÇ Ãâ°£Àº ´õ¿í ÀÇÀǰ¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ Ã¥¿¡¼ ¼Ò°³µÈ ÇÏÅýÅȸÀÇ ¹ý¹®µéÀº ÇÏÅýÅȸÀÇ ¼±¹ý°ú ³²Á¾ÀÇ Áø½ÇÇÑ ¸é¸ð¸¦ ÆÄ¾ÇÇÏ´Â µ¥ ¸¹Àº µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀÌ´Ù.
º»¹®Àº Å©°Ô 2ºÎ·Î ³ª´©¾îÁ® ÀÖ´Ù. 1ºÎ´Â ÇÏÅýÅȸ¿¡ ´ëÇÑ ¼Ò°³¿Í °¢ ¹ý¹®º° ÇØÁ¦¿Í ¿øº»¿¡ ´ëÇÑ ¼³¸íÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù. 2ºÎ´Â °¢ ¹ý¹®¿¡ ´ëÇÑ ¹ø¿ª°ú ÀúÀÚÀÇ ÇØ¼³ÀÌ µ¡ºÙ¿©Á® ÀÖ´Ù. ¼¼ºÎÀûÀ¸·Î »ìÆìº¸¸é ´ÙÀ½°ú °°´Ù.
1. ¡º³²¾çȻ󵷱³ÇØÅ»¼±¹®Á÷·á¼º´Ü¾î¡»´Â ÇÏÅýÅȸ°¡ ³²¾ç ¿ëÈï»çÀÇ ¹ýȸ¿¡¼ »çºÎ´ëÁßÀ» »ó´ë·Î ¼³ÇÑ ¹ý¹®ÀÌ´Ù. ´ëü·Î ÇÏÅýÅȸÀÇ ¿©·¯ ¾î·Ï¿¡¼ °Á¶ÇÏ´Â ¼±¹ýÀÇ ¿äÁö°¡ ÀÌ ¹ý¹®¿¡ ÃѰýµÇ¾î ÀÖ´Ù.
2. ¡ºº¸¸®´Þ¸¶³²Á¾Á¤½Ãºñ·Ð¡»Àº Å©°Ô ¼¼ ºÎºÐÀ¸·Î ³ª´©¾îÁ® ÀÖ´Ù. ù ¹øÂ° ´Ü¶ôÀº ÇÏÅýÅȸ°¡ Ȱ´ë ´ë¿î»ç¿¡¼ ºÏÁ¾ÀÇ ´ëÇ¥Àû °í½ÂÀÎ ¼þ¿ø¹ý»ç¿Í ³íÀïÀ» ÁÖ°í¹ÞÀº ´ëÈ·ÏÀ̰í, µÎ ¹øÂ° ´Ü¶ôÀº ´ë·Ð Áß¿¡ ÇÏÅýÅȸ°¡ Àá½Ã Âü¼®ÇÑ ´ëÁߵ鿡°Ô ¼³¹ýÇÑ ³»¿ëÀÌ´Ù. ¼¼ ¹øÂ° ´Ü¶ôÀº À̸¦ ÀÛ¼ºÇÑ ÀÌÀÇ Èıâ ÇüÅ·ΠµÇ¾î ÀÖ´Ù.
3. ¡ºµ·¿À¹«»ý¹Ý¾ß¼Û¡»Àº Àüü ºÐ·®ÀÌ 670¿© ÀÚ¹Û¿¡ ¾È µÇ´Â °Ô¼Û ½ÄÀÇ Â©¸·ÇÑ ½ÉÁö¹ý¹®ÀÌ´Ù. ¿©±â¿¡´Â ¼±Á¾ÀÇ µ·¹ýÀÌ ¸Å¿ì ¶Ñ·ÇÇÏ°Ô ¿ä¾àµÇ¾î ÀÖ¾î Ç×»ó ¼öÁöÇϸç ÁöħÀ¸·Î »ï±â¿¡ ÁÁ´Ù.
4. ¡º³²¾çȻ󹮴äÀâ¡ÀÇ¡»´Â ÇÏÅýÅȸ°¡ ¿©·¯ »ç¶÷µéÀÇ Áú¹®¿¡ ´ëÇØ ´äº¯ÇÑ ³»¿ëÀ¸·Î, ÇÑ »ç¶÷´ç Áú¹®°ú ´äº¯Àº ´ë°³ 3~4¹ø ³»¿ÜÀÇ ´ëÈ·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.
5. ¡º¿À°æÀü¡»Àº ´ç´ë¿¡ À¯ÇàÇÑ ºÒ±³ÀÇ ¼Ó°îáÔÍØÀε¥, ¿©±â¼´Â µ·È²¹®Çå¿¡¼ ¹ß°ßµÈ ¿©·¯ ¿À°æÀü °¡¿îµ¥ ÇÏÅýÅȸÀÇ ÀúÀÛÀÎ <ÇÏÅýÅȸ»ç¿À°æÀü>°ú <³²Á¾Á¤»ç¿À°æÀü>ÀÇ 2Á¾À» ¼Ò°³Çϰí ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â ¸ðµÎ 5¿¬À¸·Î µÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, µ·¹ýÀÇ ¶æÀ» °£°áÇÏ°Ô ÀüÇϰí ÀÖ´Ù.
6. ¡º¿À¾ðÀ²½Ã¡»´Â ¡º³²¾çȻ󵷱³ÇØÅ»¼±¹®Á÷·á¼º´Ü¾î¡»¿¡ ¿¬°áµÇ¾î ÀÖ´Â ¡º¿À°æÀü¡» µÚ¿¡ ºÎ±âµÈ °ÍÀ¸·Î 1¼ö°¡ ÀÖ´Ù.
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¹Ú°ÇÁÖ (ÁöÀºÀÌ)
Àü³² ¸ñÆ÷ Ãâ»ý. Àü³²´ë »çÇаú, µ¿ ´ëÇпø ¼®»ç. ¼º±Õ°ü´ë ´ëÇпø »çÇаú ¹®Çйڻç(µ¿¾ç»ç). ¼º±Õ°ü´ë.¼øÃµ´ë.¸ñÆ÷´ë.Á¶¼±´ë¿¡ Ãâ°ÇÏ¿´°í, ÇöÀç´Â Àü³²´ë °»ç, µ¿±¹´ë µ¿±¹¿ª°æ¿ø ¿ª°æÀ§¿ø, Àü³²´ë Á¾±³¹®È¿¬±¸¼Ò¿Í È£³²ºÒ±³¹®È¿¬±¸¼Ò ¿¬±¸ÀÌ»ç.
Àú¼·Î´Â¡ºÁß±¹ Ãʱ⼱Á¾ ´É°¡¼±¹ý ¿¬±¸¡»,¡º´Þ¸¶¼±¡»,¡ºÁß±¹°í´ë»çȸÀÇ ¹ý·ü¡»,¡ºÁß±¹ °í´ëÀÇ À¯»ý°ú Á¤Ä¡¡»,¡º¼±Á¾»ç»ó ¿Ö°îÀÇ ¿ª»ç¿Í °£È¼±¡» µîÀÌ, ¿ª¼¿¡¡º´É°¡°æ ¿ªÁÖ¡»,¡º´É°¡»çÀڱ⡻,¡ºÀý°ü·Ð ¿ªÁÖ¡»,¡ºº¸¸®´Þ¸¶·Ð¡»,¡ºÀ§¾ø´Â ±ú´ÞÀ½ÀÇ ±æ, ±Ý°°æ¡»,¡ºÇÏÅà ½Åȸ¼±»ç ¾î·Ï: µ·È²¹®Çå ¿ªÁÖ1¡»,¡ººÏÁ¾¼± ¹ý¹®: µ·È²¹®Çå ¿ªÁÖ2¡»,¡ºÁֽɺΠ¿ªÁÖ¡» µîÀÌ, ±×¹Û¿¡ Áß±¹°í´ë»ç¿Í Áß±¹ºÒ ±³»ç¿¡ ´ëÇÑ ¿©·¯ Àü°ø ³í¹®ÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀÛ°¡ÀÇ ´Ù¸¥Ã¥
ÃâÆÇ»çÀÇ ´Ù¸¥Ã¥
°Ç¼³°ø»ç °ø±âÁö¿¬ Ŭ·¹ÀÓ°ú ºÐÀï - ÀÔÁõ¹æ¹ý°ú Æò°¡¹æ¹ýÀ» Áß½ÉÀ¸·Î
42,000 ¿ø
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¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤±â¼ú Wafer Cleaning Technology
52,000 ¿ø
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